至純科技（603690）點評：三季度收入高增 溼法裝置尤其單片式裝置進入快速發展階段

類別：公司

機構：上海申銀萬國證券研究所有限公司

研究員：任慕華

日期：2021-11-01

公司公告：釋出2021 三季報，實現收入12。83 億元，同比增長68。71%，歸母淨利潤1。88億元，同比增長127。96%，扣非歸母淨利潤8052。68 萬元，同比增長97。55%。其中三季度單季實現收入3。62 億元，同比增長51。68%，歸母淨利潤3771。54 萬元，同比下降27。72%。

收入保持高增長，利潤受季節性波動略有下滑。由於公司部分業務的收入確認具有明顯季節性，21Q3 營收與利潤與二季度相比增速放緩，且Q3 收入環比有所下滑，主要受波匯科技子公司收入確認具有明顯的季節特性影響，預計大部分收入將於Q4 確認。21Q1、21Q2、21Q3 單季綜合毛利率分別為41。5%、27。3%，46。9%，其中Q3 同比增長7。4pct，環比增長19。6pct，我們認為主要受益於溼法裝置業務佔比提升。根據公司互動平臺數據顯示，截止至三季度末，溼法部門實現收入4。52 億元，佔總收入比重迅速提升至35%。

在手訂單充裕，且單片式裝置訂單快速增長。公司整體新增訂單已超過去年全年水平，其中溼法部門的目前訂單已經超過8 億，新增單片式裝置訂單在價值量上超過一半，其中Q3 新增訂單超3。7 億元，其中單片式裝置訂單約2 億。公司已經獲得28nm 全系列認證（包括溼法刻蝕、去膠、清洗、刷洗等工藝），首批次單片溼法裝置已交付並順利透過驗證，並且基於28nm 基礎上向14nm 及14nm 以下製程突破，進入產能爬坡和供應鏈自主發展階段。我們認為，根據公司歷史訂單情況，溼法裝置尤其是單片式裝置業務已經進入加速放量階段，成為公司新的業績增長點。

子公司獲大基金二期、中芯聚源等產業資本加持。根據公司前期公告，控股子公司至微半導體（上海）透過增資控股方式引入戰略投資者，包括大基金二期、中芯聚源、裝備材料基金、遠致星火、芯鑫鼎橡等，本次增資前至微科技估值為25 億元，交易後上市公司持有至微科技股權比例從99。3407%下降至77。11%。至微科技成立以來，累計獲得來自各大積體電路製造企業的溼法裝置訂單超過160 臺，成為國內溼法裝置的主要供應商之一，我們認為，此次戰略投資者的引入，有助於公司於產業鏈相關公司進一步深度合作，顯示出市場對公司未來前景的看好，並且芯晟至遠參與增資，有利於激勵公司管理層。

公司立足高純工藝系統佈局半導體相關領域，溼法工藝裝置快速發展。公司在半導體相關業務領域不斷拓展，從高純工藝系統到溼法工藝裝置，今年合肥晶圓再生專案已正式量產爬坡，預計四季度開始貢獻收入。後續持續加深在各領域的產能擴張及佈局。我們認為，國內積體電路高景氣至少持續三五年甚至更長時間，公司已形成圍繞半導體產業的裝置、材料、工藝三位一體的戰略佈局。維持2021-2023 年預測，預計淨利潤分別為3。02/4。21/5。24 億元，維持買入評級。

風險提示：清洗裝置訂單或收入確認不及預期等