半導體工業是極精密的工業，積體電路製造的工廠投資金額巨大，電路板上一顆顆小小的 IC 都有數百萬顆甚至數千萬顆的電晶體。 塵粒容易使晶片失效或可靠度降低 ，所以半導體積體電路製造的過程必須在淨化車間內進行。本文以EPC工程（總承包）整合服務商CEIDI西遞某專案為例，具體談談半導體積體電路電子潔淨車間建設要點。

相對於其他工業潔淨室，積體電路製造潔淨車間有面積大、潔淨等級高、溫溼度控制精度高等特點。除此之外，為了滿足半導體制造工藝的需求刨除上面所說的特點，還對振動、ESD（靜電控制）、AMC（氣態分子級汙染物）控制等專業技術內容都有特殊的要求。CEIDI西遞總承包建設的該積體電路專案廠房建築面積約4000平米，為滿足積體電路產品的特殊生產屬性，CEIDI西遞設計師按照半導體積體電路的整合度劃分生產環境的空氣潔淨度等級，不同的工序的空氣潔淨度等級依據將會汙染的機率和對元器件的潛在故障確定劃分。從節能角度出發，CEIDI西遞設計師會在潔淨廠房中把加工工藝核心區隔離，在微環境的隔離區內做到所規定的空氣潔淨度等級和環境控制規定（M度、相對溼度、壓力）。送風系統選用的是FFU系統。FFU系統在靈活性、調控性、可靠性、氣密性、節能性與空間利用方面優勢顯著。就氣密性與空間利用方面來說，積體電路無塵車間採用集中送風系統及隧道系統，上靜壓箱與周圍環境的壓差很大，極易發生空氣洩漏，因此對上靜壓箱的氣密性要求很高，基本上不允許管線進人。而FFU系統的上靜壓箱相對於周圍環境只是微正壓，上靜壓箱內可以佈置或穿越諸如排風和排煙等管道，使空間得到合理利用。

半導體積體電路電子潔淨車間的空壓氣體工程主要由以下系統組成：空氣流程系統、潤滑油流程系統、冷卻系統、安全保護系統、控制系統及電氣線路。螺桿式空壓機組主要有壓縮機、電動機、空氣濾清器、進氣閥、油氣桶、空氣冷卻器、潤滑油冷卻器壓力開關、單向閥、儲氣罐、壓力錶、自動排水器、安全閥等裝置部件。另外在空壓機系統中大多配置冷幹機和空氣乾燥器。

因為過於乾燥的廠房內極易產生靜電，造成CMOS整合損壞。一般來說，半導體積體電路廠房對靜電的控制格外重視，必須保證室內維持指定的溫溼度來避免靜電事故。溫度應控制在22℃左右，相對溼度控制在50-60%之間（特殊潔淨車間有相關溫溼度規定）。這時可有效地消除靜電，並使人也感覺舒適。

好的無塵車間設計，不僅能節約能源，降低執行成本，減少人力投入，而且為生產提供了安全可靠的保障。隨著積體電路製造技術的不斷升級，主流大型工廠已成熟地接入物聯網、5G、人工智慧等技術。如何在廠房潔淨工程建設的同時與這些智慧化科技做完美銜接，是許多行業外工裝公司的盲區。專注於潔淨工程領域的EPC整合服務商CEIDI西遞在積體電路無塵車間設計、施工和智慧化、節能創新方面一直不斷完善，為企業生產提供保障。