IFWS&SSLCHINA2021

2021年12月6-8日，第七屆國際第三代半導體論壇暨第十八屆中國國際半導體照明論壇（IFWS&SSLCHINA2021）將在深圳召開。鵬城半導體技術（深圳）有限公司將亮相論壇，並現場展示在半導體裝備方面多種系列產品。

據瞭解，鵬城半導體技術（深圳）有限公司，由哈爾濱工業大學（深圳）、北京琨騰科技有限公司以及有多年實踐經驗的工程師團隊共同發起建立。公司立足於技術前沿與市場前沿的交叉點，尋求創新引領與可持續發展，解決產業的痛點和國產化難題，爭取產業鏈的自主可控。

其核心業務是半導體材料、工藝和裝備的研發設計、生產製造。公司人才團隊知識結構完整，有以哈工大教授和博士為核心的高水平材料研究和工藝研究團隊；還有來自工業界的高階裝備設計師團隊和工藝工程師團隊，他們具有20多年成套裝備設計和生產製造經驗。

公司主要依託於哈爾濱工業大學（深圳），具備先進的半導體研發平臺和檢測儀器，可以在高起點開展科研工作。公司已具有4000多平米潔淨廠房，可開展半導體材料和元件的中試、生產，同時可進行半導體裝備的生產和除錯。目前公司在半導體裝備方面已形成多種產品系列，可供使用者購買。

業績展示：

·完全自主設計製造的分子束外延（MBE）裝置，包括自主設計製造的MBE超高真空外延生長室、工藝控制系統與軟體、高溫束源爐、高溫樣品臺、Rheed原位實時線上監控儀（反射高能電子衍射儀）、直線型電子槍、膜厚儀（可計量外延生長的分子層數）、射頻源等關鍵部件。真空度達到2×10-8Pa。

·裝置於2005年在浙江大學光學儀器國家重點實驗室投入使用，至今仍在正常使用。

·設計製造磁控濺射與等離子體增強化學氣相沉積法PECVD技術聯合系統，應用於團簇式太陽能薄膜電池中試線。使用單位中科院電工所。

·設計製造了金剛石薄膜製備裝置，應用於金剛石薄膜材料的研究與中試生產裝置。現使用單位中科院金屬研究所。

·設計製造了全自動磁控濺射裝置，可加水平磁場和垂直磁場，自行設計的真空機械手傳遞基片。應用於高密度磁記錄材料與器件的研究和中試。現使用單位國家光電實驗室。

·設計製造了OLED有機半導體發光材料及器件的研究和中試成套裝備。現使用單位香港城市大學先進材料實驗室。

·設計製造了MOCVD及合金退火爐，用於GaN和ZnO的外延生長，實現LED無機半導體發光材料與器件的研究和中試。現使用單位南昌大學國家矽基LED工程技術研究中心。

·設計製造了磁控濺射研究型裝置。現使用單位浙江大學半導體所。

·設計製造了電子束蒸發儀研究型裝置。現使用單位武漢理工大學。

據瞭解，本屆IFWS&SSLCHINA2021論壇以“創芯生態 低碳未來”為主題，由第三代半導體產業技術創新戰略聯盟（CASA）、國家半導體照明工程研發及產業聯盟（CSA）聯合主辦，北京麥肯橋新材料生產力促進中心有限公司與半導體產業網共同承辦。百餘位程式委員會專家提供智力支援，聚焦前沿技術及行業熱點，力邀國內外知名專家、領軍企業、行業精英代表深度參與，把脈產業商機，共促產業健康有序發展。

據瞭解，論壇除了開幕大會、還設有功率電子器件與應用論壇、射頻電子器件與應用論壇、半導體照明與應用論壇、Mini/Micro-LED及其他新型顯示論壇、超越照明論壇、材料與裝備論壇、固態紫外器件與應用論壇、車用半導體創新合作峰會等論壇活動。聚焦第三代半導體功率電子技術、光電子技術、射頻電子技術的國內外前沿進展；第三代半導體材料相關技術與新一代資訊科技、新能源汽車、新一代通用電源、高階裝備等產業的相互促進與深度融合；產業鏈、供應鏈多元化與核心技術攻關等。

誠摯歡迎業界同仁參與其中，對接資源，洽談商機，共商產業發展大計。

備註：12月5日12:00開始報到註冊，12月6日上午9:00開幕大會。總體日程概覽或有微調，以現場為準（雙擊檢視大圖）。

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