矽沉著病就是矽肺，是因長期吸入二氧化矽粉塵沉積於肺中，發為疾病，所以稱之為矽沉著病，普遍叫矽肺。是塵肺中最為嚴重的一種型別，肺部多有廣泛的結節性纖維化，嚴重時影響肺功能，喪失勞動能力。

患矽肺後，肺部典型的改變是二氧化矽結節的形成及肺部廣泛的纖維化（永久性肺組織瘢痕）。典型的二氧化矽結節是同心圓排列的膠原纖維，膠原纖維中間可有二氧化矽粉塵，二氧化矽粉塵可隨組織液流向他處形成新結節。由於二氧化矽粉塵作用緩慢，所以脫離二氧化矽粉塵作業後，矽沉著病病變仍可以繼續進展。

二氧化矽結節往往包繞血管而形成，因此血管被擠壓，血供不良，使膠原纖維壞死並玻璃樣變。壞死組織經支氣管排出，形成空洞。肺間質改變是肺泡間隔增厚，纖維組織增生，肺彈性減退。結節間肺泡委陷。在纖維團塊周圍可出現代償性肺氣腫，甚至形成肺大皰。