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ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

光刻機是晶片製造的重要工具,如果沒有光刻機,將無法完成光刻步驟,但其實光刻膠也是光刻工藝不可或缺的材料。

全球大部分的光刻膠市場掌握在日本企業手中,在中企的努力下,國產DUV光刻膠已經通過了驗證。這是怎樣的進展呢?ASML堅持供貨光刻機,著急了嗎?

ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

國產光刻膠驗證進展

在晶片製造過程中,光刻工藝是最重要的一個環節,決定了晶片能否被生產出來,也影響晶片最終的效能。整個光刻工藝需要在光刻機的曝光下,將設計好的晶片線路復刻在晶圓表面。再把晶圓切割成一顆顆晶片,封裝至終端裝置中。

光刻機用極高的精度,在指甲蓋大小的晶片上整合幾十億,上百億根電晶體。

如果是EUV光刻機,波長可以壓縮到13。5nm,這意味著EUV光源可以在晶圓上形成非常高的解析度。

ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

光刻機固然重要,但如果沒有光刻膠的支援,光刻工藝同樣無法完成。光刻膠起到保護襯底基座的作用,並負責充當光刻機曝光線路的媒介,把晶片線路轉移到晶圓表面。

如此關鍵的材料,事關整個晶片製造產業能否穩定推進。只是全球大部分的光刻膠市場份額幾乎都掌握在日企手中,JSR、東京應化、富士化學這幾家日企掌握各類製程的光刻膠。

從低端的g線,i線到終端的DUV和高階的EUV光刻膠,均攻克了核心技術。其中DUV光刻膠主要包括KrF、ArF製程,28nm,14nm以及7nm晶片製程的光刻工序材料來源。

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雖然日企掌握了光刻膠的主導市場,但並不意味著其他廠商會放棄佈局。

比如中國廠商南大光電就取得了國產DUV光刻膠的驗證突破,根據南大光電錶示,公司的ArF光刻膠分別通過了一家儲存晶片和邏輯晶片製造企業的驗證,多款產品正在向客戶同時進行認證。

ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

ArF光刻膠屬於DUV製程,支援7nm工藝技術,對推進晶片製造產業鏈有關鍵作用。國產光刻膠取得了顯著的驗證進展,由於大部分的晶片製造商都有不同的製程工藝,要想將光刻膠的效能發揮出來,就需要進行大量的驗證工作,在不斷除錯中最佳化產品。

目前來看,南大光電取得了儲存晶片和邏輯晶片方面的驗證突破,相信未來會在更多的晶片領域獲得進展。

ASML堅持供貨,著急了嗎?

光刻膠是晶片製造產業的重要組成部分,雖然成本比不上光刻機,但卻能起到影響全域性的效果。ASML積極參與中國市場的佈局,渴望獲得更多的出貨機會,若中國廠商的光刻膠產品落地產業鏈,也會加快產能輸出,為提高國產晶片自給率帶來助力。

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到時候ASML渴望獲得的出貨機會也許會到來,這也是為什麼ASML持續向中國市場示好的原因。因為ASML知道,中國市場會有持續增長的晶片製造需求,對ASML這樣的光刻機供應商來說,正好是難得的銷售增長突破口。

為了把握這塊市場,ASML制定了遠大的光刻機提產目標,要在2026年之前將DUV光刻機年產能增加到600臺,EUV光刻機90臺。

因為ASML不能自由出貨EUV光刻機,所以把更多的產能放在了DUV光刻機上,目的不外乎尋求中國市場的訂單合作。

ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

綜合國產晶片產業鏈的發展狀況,ASML做對了,產能是獲得訂單的籌碼。而且ASML硬抗美國規則,當美國試圖進一步阻礙DUV光刻機出貨的時候,ASML的態度是拒絕的。

荷蘭方面也攤牌了,與美國展開光刻機出貨問題的談判。鑑於DUV光刻機大部分採用ASML自己的技術,所以只要荷蘭堅持到底,談判的結果估計會有利於ASML。

ASML這般堅持出貨,是著急了嗎?很明顯,國產自主化發展和競爭對手加速佈局,給ASML帶來不小的壓力。

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中國也有自己的光刻機產業鏈,而且持續推動自主化。日本尼康,佳能是ASML的主要競爭對手,二者都有想法提高光刻機產能,在中國市場上尋求客戶訂單。

在同類的產品中,ASML未必有絕對的優勢。客戶考慮到多元化佈局,想來也不會把所有的訂單都交給ASML ,否則一旦ASML又遭遇市場規則,誰能保證合作狀態會不會發生改變。

與其如此,不如多做幾手佈局,而尼康,佳能的入局會帶來更多的選擇。

ASML做對了!國產DUV光刻膠透過驗證,支援7nm工藝

總結

國產DUV光刻膠透過驗證,為晶片產業鏈提供可控的技術支援,加速晶片產能佈局。ASML這幾年不斷加大中國市場的部署程度,估計也是意識到中國市場會有產能增長趨勢。

ASML不得不著急,大幅度提升光刻機產能之後,最終能獲得多少訂單,ASML還得走一步看一步。

對此,你有什麼看法呢?歡迎在下方留言分享。

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