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SiC 外延缺陷

SiC 外延缺陷

襯底表面預處理上面我們聊了SiC器件研製過程中對外延層影響較為重要的“微管”缺陷,下面我們在來聊聊整個生長過程中比較重要的一個環節——外延生長前對襯底表面的預處理,對於改善襯底結果特性具有重要意義,俗話說“磨刀不誤砍柴工”...

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