KLA公司宣佈釋出四款用於汽車晶片製造的新產品：8935高產能圖案晶圓檢測系統、C205寬波段等離子圖案晶圓檢測系統、Surfscan® SP A2/A3無圖案晶圓檢測系統和I-PAT®線上缺陷部件平均測試篩選解決方案。汽車行業在密切關注電氣化、互聯性、高階駕駛輔助和自動駕駛等領域的創新。這意味著汽車需要更多的電子裝置，從而推動了對半導體晶片的需求。由於晶片在車輛駕駛和安全應用中的核心地位，其可靠性至關重要，因此汽車晶片必須符合嚴格的質量標準。

KLA 的全新Surfscan® SP A2/A3、8935 和 C205 檢測系統以及創新的 I-PAT® 線上篩選解決方案提高了汽車晶片的良率和可靠性。

“今天的車輛包含數以千計的半導體晶片，用於感知周圍環境、做出駕駛決策和實施控制。”KLA半導體工藝控制業務部總裁Ahmad Khan表示，“這些晶片不能發生故障——這一事實導致晶片製造商在晶片整合到車輛上之前就尋求新的策略，以發現和減少與可靠性相關的缺陷。我們的新產品專為生產汽車晶片的晶圓廠量身定製，在晶片製造的源頭偵測可能影響可靠性的缺陷，併為線上篩選提供創新的解決方案。這些努力將協助晶圓廠以高良率製造質量優良且高度可靠的晶片，同時最大限度地提高產能。”

這三臺新檢測裝置構成了一個互補的缺陷發現、監控和控制的解決方案，適用於汽車行業中較大設計節點的晶片製造。Surfscan SP A2/A3無圖案晶圓檢測儀結合了DUV光學系統和先進演算法，讓系統的靈敏度和速度足以在汽車晶片上識別並消除可能產生可靠性問題的工藝缺陷，也確保工藝裝置以最佳的效能執行。對於研發和批次生產，C205圖案晶圓檢測儀採用了寬波段光譜和 NanoPoint™技術，因而使其對於關鍵缺陷高度靈敏，有助於加快新工藝和器件的最佳化。對於批次製造，8935圖案晶圓檢測儀採用新的光學技術和DefectWise® AI解決方案，能夠以低噪比率捕獲各種關鍵缺陷，並快速準確地識別可能影響晶片最終質量的工藝偏差。

I-PAT是一個運行於KLA檢測和資料分析系統中的創新線上篩選解決方案。I-PAT首先從包括8935或Puma™ 鐳射掃描檢測儀等在內的高速8系列檢測儀在關鍵工藝步驟中採集的所有晶圓資料中提取缺陷特徵。然後，I-PAT利用SPOT™量產平臺上的定製機器學習演算法和Klarity®缺陷管理系統的統計分析功能來辨別異常的缺陷，從而可以從供應鏈中剔除有風險的晶片。

除了開發為汽車晶片製造定製的新產品，KLA繼續與汽車行業密切合作。從KLA加入為汽車行業的電子元件制定認證標準的汽車電子委員會（AEC）的成員，到公司在密歇根州安娜堡的第二總部，KLA致力於確保汽車行業實現嚴格的電子質量標準。

“我們今天釋出的新產品擴充了我們全方位的檢測、量測、資料分析和工藝系統組合，為汽車電子生態系統提供多方位的支援。”KLA的電子、封裝和元件（EPC）業務部執行副總裁Oreste Donzella補充說，“這些產品中的每一種都發揮著關鍵作用，確保了構成汽車電子產品的晶片、元件、印刷電路板和顯示器等都具有優異的良率、可靠性和效能。”